ITO靶材打破“卡脖子”技术垄断 市重大科技项目探秘之三

广西晶联光电公司员工在测量ITO靶材

每一天，人们都离不开手机。特别是当人们打开各种显示屏，看到巨量的信息，以及色彩鲜艳的图片、视频时，普通人也许没想到，能够实现这些功能，离不开透明导电的ITO靶材薄膜。

产能第一，“脖子”被卡

玻璃镀上ITO靶材得到的薄膜，为什么还是那么透明？“因为在显示屏上的ITO靶材实在太微小了，只有约100纳米左右厚。既看不见也摸不着，正是因为ITO薄膜在这个厚度范围内具备了透明导电的优异性能而在显示等领域得到广泛应用。”广西晶联光电材料有限责任公司总经理、高级工程师黄誓成说，生活中人们都知道1毫米已经是非常小了，而1纳米仅相当于1毫米的百万分之一。

原来，ITO靶材作为ITO透明导电膜的关键原材料，也是显示面板行业最关键的基础导电陶瓷材料，广泛应用于液晶显示如高端电视、电脑、智能手机、车载、太阳能电池、触摸屏等。同时，还是未来芯片产业的战略关键原料。

ITO靶材的主要材料是铟。中国是全球铟资源大国，基础储量占全球的62%，其中广西保有储量占全国的 55%。在全球产业链中90%以上的铟主要用于生产ITO靶材。

“遗憾的是，我国的显示面板产能世界第一，可ITO靶材技术却是‘卡脖子’技术，长期被日本、韩国等少数国家垄断，全部依赖进口。”黄誓成说，由于缺乏深加工技术，特别是大尺寸高密度ITO靶材技术缺乏，致使我国只能大量出口金属粗铟，再以高于金属铟5至6倍的价格进口高性能 ITO靶材。

艰难困苦，玉汝于成

“必须打破被人‘卡脖子’的被动局面！”老家是河池市的黄誓成，2009年硕士研究生毕业时与3位同届毕业的技术骨干一起加入原有团队，来到工业柳州开始了ITO靶材技术攻关及产业化研究。

ITO靶材作为战略性新兴产业，属于资金、技术、人才密集型的。大尺寸高密度ITO靶材制备技术复杂，影响因素多，需要逐个突破与协同攻关并进。黄誓成组成的初创团队自成立时坚持自主开发与技术合作协同创新，积极与中南大学、郑州大学、上海大学、桂林电子科技大学等院校及国内外技术专家开展产学研合作解决关键技术难题。市科技局对企业《氧化铟锡旋转靶材专利技术的产业化应用研究》以及《高世代面板用ITO靶材的研发及产业化》等项目予以立项，鼓励并支持企业继续加强产学研合作，加大科研投入，在行业关键技术领域争取更大的突破，创造品质更优、附加值更高的产品。一些产业资本也投来橄榄枝，2016年8月，被上市公司隆华科技集团（股票代码：300263）并购，成为其全资子公司。

经过13年的关键技术开发和转化，在坚持自主研发的基础上，广西晶联光电有限责任公司已完成广西及柳州市科技ITO靶材相关科技项目8项，正在进行3项，获得发明专利7项，产品技术水平已经达到国际先进水平，并获得国家高新技术企业、自治区企业技术中心、自治区创新示范企业、自治区瞪羚企业、柳州市铟靶材工程技术研究中心等荣誉（资质）。

打破垄断，国内首家

2015年，广西晶联光电公司首次导入TFT面板厂第一条线即通过测试，打破日韩垄断，成为国内首家也是唯一一家在TFT面板线如京东方、华星光电、天马微电子、信利半导体等通过测试认证并批量化应用的ITO靶材厂商。

广西晶联成为ITO靶材国产化的领军企业，逐渐解决面板产业链的关键靶材原材料的“卡脖子”问题，为面板产业链的健康发展提供重要保障。2018年12月，“TFT-LCD用高性能ITO靶材的研发及产业化项目”荣获中国发明协会创业成果奖一等奖。2020年8月，中国电子材料行业协会、中国光学电子行业协会液晶分会授予广西晶联光电公司“中国新型显示产业链发展特殊贡献奖”。

“项目的实施打破了日韩的技术封锁和市场垄断，为我国‘卡脖子’技术解决提供了广西方案。”在谈到ITO靶材技术突破的意义时，黄誓成说，在当前以美国为首的国家对我国高科技企业打压的背景下，对确保我国平板显示产业的健康发展具有极其重要的战略意义。近5年来，广西晶联光电材料有限责任公司每年以30%至50%的速度快速发展，今年尽管受新冠肺炎疫情影响，但增长速度达100%以上。

（罗秋振 文/图）

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