兰州空间物理研究所“高准确度电容薄膜型真空测量” 打破国际技术垄断

电容薄膜型真空测量设备是一种利用弹性膜片在压差作用下产生位移，引起电极和膜片之间距离的变化，导致电容量发生改变，通过测量电容的变化，实现真空度测量的仪器。它具有测量准确度高、线性好、输出的重复性和长期稳定性好、能够测量气体和蒸汽的全压力，测量结果与气体成分和种类无关等诸多优点，在真空计量、微电子工业、表面处理、等离子体测量、航空航天、高能物理、可控热核聚变等领域得到广泛应用，其测量数据的可靠性及准确性将直接影响这些领域相关科学目标的实现。

目前，仅美国MKS公司生产的高准确度电容薄膜型真空测量设备产品能够满足上述领域的应用需求，其测量准确度、分辨率、稳定性等指标均远优于其他同类产品，占据着电容薄膜型真空测量设备应用领域的主要市场份额。然而长期以来，美国对我国实行严格的出口审查制度，直接制约了我国真空技术的发展和真空测量仪器的应用。在高准确度电容薄膜型真空测量设备研制方面，我国的科研院所和企业也开展了电容薄膜型真空测量设备的性能测试、影响因素分析及小型化等方面的研究，取得了相关研究成果。然而，目前我国电容薄膜型真空测量设备的发展依旧存在测量准确度低、产品系列单一等问题，高准确度电容薄膜型真空测量设备的研制和生产仍是一片空白，没有可用的高准确度电容薄膜型真空测量设备商业产品，国内高准确度电容薄膜型真空测量设备完全依靠进口产品。为此兰州空间物理研究所的科研人员开发出“高准确度电容薄膜型真空测量设备研制及产业化”就是为了解决这个问题。

本项目以真空计量、微电子工业、表面处理、等离子体测量、航空航天、高能物理、可控热核聚变等领域对高准确度电容薄膜型真空测量设备的迫切需求为背景。通过本项目的实施，可实现满量程为13.3Pa、1.33E+02Pa、

1.33E+03Pa、1.33E+04Pa、1.33E+05Pa，测量不确定度优于0.2%的电容薄膜型真空测量设备研制，技术指标可达到美国MKS公司同类产品最好水平，能够满足我国真空技术和真空装备产业化的迫切需求，填补我国高准确度电容薄膜型真空测量设备研制空白。通过本项目的实施，具备高准确度电容薄膜型真空测量设备产业化能力，可服务于甘肃省乃至全国的真空装备产业、高校及科研院所。依靠承研单位在国内真空行业的领军地位和国际真空行业影响力，将进一步推动我国真空装备产业化进程。目前，高准确度电容薄膜型真空测量设备单套产品销售价预计为6万元以上，该产品的生产成本估算为2.2万元，年销售量预计在2000套以上，预计年销售利润可达到7600万元。随着甘肃省真空装备产业发展，本项目转化的产品具备替代国外产品的能力，销售额将以每年30%的速度增加，3年内可实现数亿元的净利润。由此可见，本项目转化的产品具备广阔的市场应用前景和盈利能力。

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