“低温泵”技术关键突破 “守护”“中国芯”

近日，安徽万瑞冷电科技有限公司DN1250低温泵项目，荣获第九届中国制冷学会科学技术进步奖二等奖。该奖项是从技术成果的创新性、市场竞争力、推广应用情况以及社会效益等方面进行综合评价，评出优秀创新成果并予以表彰，是经国家科学技术奖励工作办公室批准，我国制冷行业科学技术研究成果的最高奖励，代表着制冷行业对该项成果的高度认可。

低温泵是利用低温表面冷凝、吸附和捕集原理将气体固定在冷板和吸附板上，从而达到抽真空目的的超高真空获得设备，是空间模拟装置的关键设备之一，DN1250低温泵是指抽气口径为1250mm的大口径低温泵。

大口径低温泵主要应用于航空航天及国家大科学工程研究领域，而欧美对中国800mm及以上口径的低温泵一直实行禁运和技术封锁政策，并且随着中美贸易战范围的日益扩大，一旦美国限制和禁运的低温泵产品覆盖面扩大，将会使得我国在科研、国防等技术敏感领域无法应用相应进口设备。此次万瑞公司突破吸附抽气、高效冷凝、液氮管深低温真空密封等关键技术，创新关键部件结构和制作工艺，成功研发DN1250低温泵项目，不仅满足了低温泵关键技术国产化和自主化的迫切需求，还成功打破了国外垄断和禁运。

万瑞公司成立于2003年，始终专注于低温技术研究和装备制造，16年来先后为北京正负电子对撞机、上海同步辐射光源、探月工程等国家重大科学工程提供了众多低温专业设备，自主开发完成了具有国际领先水平的氦气纯化循环利用复合技术。2019 年1月，万瑞公司历时4年，顺利完成国家02重大专项（极大规模集成电路制造装备及成套工艺）“超高真空冷泵研发及产业化”，通过了项目验收，初步实现了集成电路关键部件超高真空冷泵的国产化。李军

新闻推荐

七部党员教育电视片在全省获奖

本报讯（黄欢陈震）近日，由省委组织部和团省委联合举办的第十四届党员教育电视片观摩评比暨第二届党员教育微视频大赛评选结果...

安徽新闻，弘扬社会正气。除了新闻，我们还传播幸福和美好！因为热爱所以付出，光阴流水，不变的是安徽这个家。