小芯片 大智慧

■ 本报记者 夏胜为

手机、电脑、电视、车载多媒体系统……时下，智能化电子设备让人们工作生活更加舒适、便捷，而这些智能体验的背后，离不开“小块头、大智慧”的芯片。作为高精尖技术，高阶芯片曾一度为国外所垄断。如今，安徽合肥这片创新热土，已经拥有较为完整的芯片产业链。近日举办的合肥市集成电路高端制造装备技术研讨会上，专家建言献策，助力合肥打造“中国IC之都”。

一般而言，芯片即指内含大规模集成电路的硅片。芯片的核心就在于集成电路。集成电路，英文为IntegratedCircuit，缩写即为IC，是将一定数量的常用电子元件，如电阻、电容、晶体管等，以及这些元件之间的连线，通过半导体工艺集成在一起。很多芯片只有拇指盖大小，却是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能。

关于集成电路，业界人士曾形象地说：其集成度如同盖一幢摩天大楼。楼里有商场、办公室、食堂、公寓，地下有数层停车场，停车场下面还有地基，这如同集成电路的布局；每层楼房间的户型不一样，走廊也不一样，这如同集成电路器件设计；各楼层直接有高速电梯可达，为了效率和功能隔离，还可能有多部电梯，每部电梯能到的楼层不同，这如同集成电路的布线。

随着科技发展，小小芯片集成了大功能，被喻为国家的“工业粮食”、整机设备的“心脏”。在省会合肥，大批“安徽造”芯片走向千家万户。目前，合肥集成电路企业从原有不足10家发展到近70家，年产值从不足30亿元，发展到120多亿元，初步形成从设计、制造、封装测试、材料、器件到专用设备较为完整的产业链，成为全国集成电路产业发展较快、成效显著的城市之一。

从设计到使用，芯片制造是重要环节，而光刻工艺是制造的核心，光刻就是将集成电路刻在硅片上。研讨会上，合肥芯碁微电子装备有限公司负责人方林展示出最新研发成果——激光直写光刻设备。方林说，激光直写光刻设备可以大幅缩短从版图设计到芯片加工的周期，将直写制版速度从早期的几周、几天、几小时缩短到几分钟。而激光直写高端装备一直依赖进口，成为制约我国集成电路和高端线路板产业发展的瓶颈。该公司研制出具有自主知识产权的集成电路光刻设备，一举打破国外高端激光直写曝光设备垄断，填补国内高端集成电路装备产业空白。

按照相关规划，合肥市力争到2020年成为国内最大的面板驱动、汽车电子、功率集成电路、特色储存器等特定芯片的生产基地。

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