亨泰电子化学材料：看不见黑烟的化工企业

走进宣城亨泰电子化学材料有限公司的厂区，生产线正在有条不紊地工作着。让人惊诧的是，厂区的上空看不见黑烟盘旋，这与记者印象中“电子化学材料行业是一个高耗能、高污染的行业”很不相符。

“作为一个有责任心的企业，正在尽全力改变着电子化学材料行业的‘两高\’形象。”亨泰电子化学材料有限公司总经理姜惠德如是说。

亨泰电子材料是中国鹰鹏化工集团与中国香港亨威共同出资建立，坐落于宣州区经济开发区北区。是一家专业的“电子化学品”公司，主要产品有电子级无水氟化氢（UP级）、30%-65%氢氟酸，49%电子级氢氟酸（EL、UP、UPS、UPSS级）等产品。每条生产线，年产电子级氢氟酸1.2万吨。目前，UPS电子级氢氟酸生产线全球不到10家，而亨泰是我国其中一家。

据了解，电子级氢氟酸是电子信息产业极大规模制造的关键材料之一，主要用于芯片的清洗和硅蚀刻。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响，且具有技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特性。

套上一次性鞋套，戴上安全帽，记者进入电子级氢氟酸生产车间。调配楼层，除了一道道密闭双套管材外，记者看不到一个工人。姜惠德说，他们采用的装置是先进的电脑自动化集控技术，整个生产线也不过15个人。

生产电子级氢氟酸的原料是无水氢氟酸。亨泰电子将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品——电子级氢氟酸。记者看到，生产环节中的所有接口都处于指定厂家生产的密闭调配柜内，而从生产车间输送到包装车间的管道则没有一处接口，这都是确保产品纯度的必要举措。

产品的质量如此高精，产生的污染大不大？姜惠德向记者解释，生产中主要废气污染源为无水氟化氢蒸馏提纯过程中少量含氟尾气，以及锅炉烟气。氟化氢吸收尾气主要污染物为HF，公司采用两级回收处理，经水洗、碱洗吸收后通过30米高排气筒排放；锅炉烟气主要污染物为SO2和烟尘，经脱硫、除尘后通过35米高排气筒排放。而项目生产废水包括设备冲洗水、生活污水、锅炉房酸碱水等，这些水会进入公司污水处理站处理后回用，废水不外排。固体废物主要为锅炉炉渣、生活垃圾等，锅炉炉渣会作为建筑材料继续使用，生活垃圾则进行卫生填埋。“经过我们的环保处理后，即使是30米高筒排放的废气，我们基本都能做到零排放，对环境基本没有污染！”姜惠德解释道。

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