国内首台激光防焊曝光机交付使用

本报讯（记者 蒋明）10月14日，由合肥芯硕半导体有限公司自主研制、拥有完全自主知识产权的国内首台激光直写成像防焊曝光机Galaxy100正式交付使用。该机对准精度和资料解析度等技术指标均达到了国际领先水平。

激光直写成像防焊曝光机，集光学、精密机械、电子控制、材料和软件等多领域科技于一体，是新型智能终端制造中的必备设备。过去一直被国外厂商所垄断。合肥芯硕半导体有限公司是国内首家专业研究、开发和生产半导体直写光刻和检测设备、高端PCB专用激光直写成像设备（LDI）的国家高新技术企业，公司是国内首家承担两项国家02专项整机任务的高科技民营企业，拥有专利90余项，是国内集成电路高端装备产业拥有自主知识产权的核心龙头企业，研发的多款光刻机设备成功打破国外对华的垄断和技术封锁。

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