合肥装备产业再添高精尖产品

本报讯（通讯员 杨萃 记者 张鸣）12月2日，由合肥芯碁微电子装备有限公司自主研发的双台面激光直接成像设备亮相深圳国际会展中心，打破了国外高端激光直写曝光设备的垄断，填补了国内高端集成电路装备产业空白，为国家信息产业和国防安全提供了设备保障。

激光直写光刻设备可以大幅缩短从版图设计到芯片加工的周期，市场前景广阔。目前，激光直写曝光设备高端装备一直依赖进口，成为制约我国集成电路和高端线路板产业发展的瓶颈。合肥芯碁微电子装备有限公司在短时间内研发出双台面激光直接成像设备，为全国首创，生产效率提高了1.8倍，设备的线宽分辨率、对位精度、产能三大核心指标均处于国际先进水平。目前，合肥芯碁已申报了35项专利，取得了温州、台湾等地科研单位和高校的订单，另有多家单位已提出订购意向。

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